Trichloorsilaan

Trichloorsilaan (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) is een kleurloze, zeer vluchtige vloeistof met een scherpe, verstikkende geur van waterstofchloride. Het kookt bij 31,8 graden en reageert heftig met vocht. Het is de belangrijkste grondstof voor het Siemens-proces om polysilicium met hoge-zuiverheid te produceren voor fotovoltaïsche zonnecellen en halfgeleiderwafels. TCS wordt ook veel gebruikt bij de groei van epitaxiale siliciumwafels, de organosiliciumsynthese (siliconenoliën, rubbers, harsen, koppelingsmiddelen), CVD-depositie van siliciumdunne films en als een selectief reductiemiddel bij de organische synthese. Verkrijgbaar in industriële kwaliteit (groter dan of gelijk aan 99,0%) en elektronische kwaliteit (tot 9N zuiverheid). Geclassificeerd als waterreactief en licht ontvlambaar (UN 1295, klasse 4.3+2.3, PG I) met een extreem breed explosiebereik van 1,2%–90,5%; alleen verwerken onder strikt watervrije omstandigheden met droge stikstofbescherming.